Verzögerungsplatte aus kubischem Kristall

Centimetre-thick sheets or lenses made from calcium fluoride or barium fluoride with beam propagation in the direction of the < 110 > crystal direction or a main axis equivalent thereto, used as delay elements for the deep ultraviolet are disclosed, embodied in a stress-free form. The above is...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	FIOLKA, DAMIAN, ZENZINGER, MARKUS, HARTMAIER, JUERGEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Centimetre-thick sheets or lenses made from calcium fluoride or barium fluoride with beam propagation in the direction of the < 110 > crystal direction or a main axis equivalent thereto, used as delay elements for the deep ultraviolet are disclosed, embodied in a stress-free form. The above is particularly suitable for microlithography at 157 nm. Als Verzögerungsplatte für das tiefe Ultraviolett werden Zentimeter dicke Platten aus Kalziumfluorid oder Bariumfluorid mit Strahlausbreitung in Richtung der -Kristallrichtung oder einer dazu äquivalenten Hauptachse vorgeschlagen, die spannungslos eingebaut werden. Eignung besonders für die Mikrolithographie bei 157 nm.