Scintillation detection unit for detecting reversely diffracted electrons for electron or field ion microscopes

Scintilacní detekcní jednotka mající tubus (2) s podélnou osou (3) se skládá z tela (5) a alespon jedné soustavy (6) pro zpracování svetelného signálu tvorené fotodetektorem nebo fotodetektorem s predrazenými dalšími optickými cleny. Vstup (9) soustavy (6) je umísten v tesné blízkosti tela (5) scintilacní detekcní jednotky (1). Telo (5) je alespon cástecne tvoreno scintilacním materiálem a je alespon z cásti umísteno v tubusu (2) elektronového nebo iontového mikroskopu a je tvoreno alespon jedním dutým telesem (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4), které mají ve spodní podstave vytvoreny spodní otvory (12A, 12.1A, 12.2A, 12.3A, 12.4A) a v horní podstave horní otvory (12B, 12.1B, 12.2B, 12.3B, 12.4) pro pruchod primárního svazku nabitých cástic. Dutinou, spodními otvory (12A, 12.1A, 12.2A, 12.3A, 12.4A) a horními otvory (12B, 12.1B, 12.2B, 12.3B, 12.4B) prochází podélná osa (3). Výška (v) tela (5) scintilacní detekcní jednotky (1) ve smeru podélné osy (3) je vetší než jeden a pul násobek nejvetší šírky (š) merené ve smeru kolmém na podélnou osu (3) tubusu toho z dutých teles (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4), u nehož je tato šírka nejvetší. V prípade zarazení více dutých teles (11.1, 11.2, 11.3, 11.4) tvorících telo (5) je jeho výška (v) ve smeru podélné osy (3) dána souctem prumetu použitých teles (11.1, 11.2, 11.3, 11.4) na podélnou osu (3). Pokud se nekteré z prumetu prekrývají, do celkové výšky (v) se zapoctou pouze jednou. Povrchové vrstvy dutého telesa (11, 11.1, 11.2, 11.3, 11.4) privrácené k podélné ose (3) jsou bud celé tvoreny aktivní scintilacní vrstvou (10), nebo jsou alespon cástecne aktivní scintilacní vrstvou (10) opatreny. Spodní konec A scintillation detection unit for the detection of back-scattered electrons for electron and ion microscopes, in which the scintillation detection unit consists of body and at least one system for processing the light signal, where the body is at least partly made of scintillation material and is at least partly situated in a column of an electron or ion microscope and is made up of at least one hollow part. The height of the body of scintillation detection unit measured in the direction of longitudinal axis is greater than one-and-a-half times the greatest width measured in the direction perpendicular to the longitudinal axis of the hollow part with the greatest width. The walls of the hollow parts are vacuum-sealed in the areas outside bottom holes and top holes and make up part of a vacuum-sealed jacket which is passed