Groove type ashing device

The utility model provides a groove type ashing device which comprises a groove body and a stirring assembly, an ashing groove is formed in the groove body, a feeding port and a discharging port are formed in the groove body, and the ashing groove is of a U-shaped structure; the stirring assembly co...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: QI HAOYU, QI HAOCUN, LI XIAOTONG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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