Shallow trench isolation in processes with strained silicon

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	WANG HAIHONG,NGO MINH VAN,XIANG QI,BESSER PAUL R.,PATON ERIC N.,LIN MING-REN
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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