Interpretation system for interpreting reflectometry information
用于分析反射测量信息的分析系统(IS)具有用来进行分析的模块(M1,M2),其中每个模块包括生成模块部分(G1,G2)、测试模块部分(T1,T2)和调试模块部分(D1,D2),第一模块(M1)作为下一模块(M2)的生成系统部分,下一模块(M2)作为第一模块(M1)的测试系统部分和调试系统部分,以引入更高的智能(例如,人工智能)。这样的分析系统(IS)具有双层生成-测试-调试结构或者GTD结构,在模块级别有两个这样的结构,在系统级别有一个。可以通过引入第三模块(M3),使得在模块级别有三个GTD结构,在系统级别有两个GTD结构,从而使这个提高的智能获得(进一步)提高。初步分析、中间分析以及精确分...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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