Droplet deposition apparatus
本发明涉及一种液滴沉积装置,所述液滴沉积装置包括:一个流体腔室,所述流体腔室具有一个驱动装置,所述驱动装置能够被电信号驱动以将液滴从所述流体腔室中排出;一个用于提供所述电信号的驱动电路装置;以及一个用于将所述液滴流体输送到所述流体腔室中的导管装置,所述驱动电路装置与所述导管装置大面积热接触以便将产生在所述驱动电路中的大部分热量传递给所述液滴流体。 Droplet deposition apparatus comprises a fluid chamber comprising an actuator actuable by electrical signals to effect ejecti...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | 本发明涉及一种液滴沉积装置,所述液滴沉积装置包括:一个流体腔室,所述流体腔室具有一个驱动装置,所述驱动装置能够被电信号驱动以将液滴从所述流体腔室中排出;一个用于提供所述电信号的驱动电路装置;以及一个用于将所述液滴流体输送到所述流体腔室中的导管装置,所述驱动电路装置与所述导管装置大面积热接触以便将产生在所述驱动电路中的大部分热量传递给所述液滴流体。
Droplet deposition apparatus comprises a fluid chamber comprising an actuator actuable by electrical signals to effect ejection of droplets from the fluid chamber, a drive circuit for supplying the electrical signals; and a conduit for supplying droplet fluid to said fluid chamber, the drive circuit being in substantial thermal contact with the conduit so as to transfer a substantial part of the heat generated in the drive circuit to the droplet fluid. |
---|