Cylinder-in-cylinder structure for linear motor machine
The invention discloses a cylinder-in-cylinder structure (100) for a linear motor machine. The barrel-in-barrel structure includes (a) an outer metrology frame (20) for responding to maintaining a payload (50) and allowing the payload (50) to move thereon; (b) an inner force frame (10) enclosed with...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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