Mechanism and method for transferring workpieces carriers between distributing box and receiving container

本发明公开了一种可在分配盒(130)和SMIF容器(116)之间传送工件暗盒(123)的传送机构。该传送机构包括一个支架(102)，支架(102)具有在其第一侧上用于支撑SMIF容器的一个第一支撑平台(114)，和在其第二侧上用于支撑分配盒的一个第二支撑平台(128)。支架还包括一个载运器传送装置机构(112)，当在初始位置时，载运器传送装置机构完全位于支架中。传送装置机构包括一个臂(134)及枢转地安装到臂上的一个抓手(136)。一旦将SMIF容器和分配盒设置到它们各自的支撑平台上，传送装置机构就在这两个容器之间传送暗盒。 A wafer transport mechanism is dis...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	R. GOULD, R.R. NETSCH, A.C. BONORA
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY CONVEYING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PACKING PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
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