Array type in-situ detection system and method for measuring multiple parameters of alkali metal gas chamber
The invention relates to an array type in-situ detection system and method for alkali metal gas chamber multi-parameter measurement. The array type in-situ detection system comprises a laser, a beam expanding light path, a diffusion sheet laser homogenizing light path, a double-microlens array homog...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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