Array type in-situ detection system and method for measuring multiple parameters of alkali metal gas chamber

The invention relates to an array type in-situ detection system and method for alkali metal gas chamber multi-parameter measurement. The array type in-situ detection system comprises a laser, a beam expanding light path, a diffusion sheet laser homogenizing light path, a double-microlens array homog...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LOU GUIYANG, ZHAO BINGQUAN, WANG JIANLONG, ZHAO XIAOMING, DONG LIHONG, GAO HONGYU
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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