SEMICONDUCTOR DEVICE WITH COMPLEMENTARILY DOPED REGIONS AND METHOD OF MANUFACTURING
A first hard mask (410) is formed on a first surface (101) of a semiconductor body (100), wherein the first openings (411) in the first hard mask (410) expose the first surface sections (601), and the second openings (412) expose the second surface sections (602). Dopants of a first conductivity typ...
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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