Thermal field of silicon carbide raw material synthesis furnace and synthesis furnace

The invention discloses a thermal field of a silicon carbide raw material synthesis furnace. The thermal field comprises a crucible main heater, an auxiliary heater, a protective cylinder and a gas circuit pipe, the protective cylinder comprises a protective cylinder side wall surrounding the circum...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LU WENDONG, LI HUI, YANG QIAN, GUO ZHIQIANG, MAO RUICHUAN, YE YINGHAI
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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