Bar-type substrate transportation device and method

The invention provides a bar-type substrate transportation device and method. The bar-type substrate transportation device mainly comprises a main body, a plurality of fixed rollers and a plurality ofmovable rollers, wherein the main body is of a concave structure, a first support wall and a second...

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Hauptverfasser: CAI CHENGYOU, CHEN CHUANYI
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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