Bar-type substrate transportation device and method
The invention provides a bar-type substrate transportation device and method. The bar-type substrate transportation device mainly comprises a main body, a plurality of fixed rollers and a plurality ofmovable rollers, wherein the main body is of a concave structure, a first support wall and a second...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
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