Protection Schemes For MEMS Switch Devices

The invention relates to protection schemes for MEMS switch devices. Micro-electromechanical switch (MEMS) devices can be fabricated using integrated circuit fabrication techniques and materials. Suchswitch devices can provide cycle life and insertion loss performance suiting for use in a broad rang...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SRIVATSAN PARTHASARATHY, PADRAIG LIAM FITZGERALD, JAVIER A. SALCEDO
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS TRANSPORTING
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