Quartz resonance sensitive chip

The invention discloses a quartz resonance sensitive chip comprising a resonance sensitive unit and fixing blocks, and also comprising a first flexible bridge, an isolation frame and second flexile bridges, wherein the first sensitive unit is arranged in the isolation frame, and connected with the f...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: LIN RILE, MAN XIN, LI WENYUN, ZHAO JIANHUA, XIE JIAWEI
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!