Quartz resonance sensitive chip
The invention discloses a quartz resonance sensitive chip comprising a resonance sensitive unit and fixing blocks, and also comprising a first flexible bridge, an isolation frame and second flexile bridges, wherein the first sensitive unit is arranged in the isolation frame, and connected with the f...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | chi ; eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!