Composite shielding type piezoelectric film sensor

The invention provides a composite shielding type piezoelectric film sensor, which comprises an upper insulating layer, an upper metal layer, at least one composite electrode layer, a lower piezoelectric film layer, a lower metal layer and a lower insulating layer, wherein the above layers are succe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: MENG ZHAOLONG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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