Tunable preset cavity type silicon on insulator (SOI) substrate film body acoustic resonator and manufacturing method thereof

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	ZHANG LONG, ZHOU YONG, MA JINYI, FU JINQIAO, YANG ZENGTAO, CHEN XIAOBING, YANG ZHENGBING, ZHAO JIANHUA, LENG JUNLIN, CHEN YUNXIANG
Format:	Patent
Sprache:	chi ; eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY ELECTRICITY IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS RESONATORS
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