Optical head and optical etching apparatus

The invention discloses an optical head and a photoetching device. The minitype optical head can provide secondary wavelength focal lightspots and super great depth of field. The minitype optical headcomprises a transparent base material, a lighttight film and at least one secondary wavelength annul...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: ZHENG CONGDA, LI SHIGUANG, YE CHAOXIONG, CHEN ZHIHAO, ZHANG YOUJIA, ZHANG JINKAI, LIN DINGZHENG
Format: Patent
Sprache:chi ; eng
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