METHOD AND APPARATUS FOR DIFFUSION LIMITED MASS TRANSPORT
1328390 Depositing semi-conductors by reaction; apparatus INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP 22 Dec 1970 [2 Jan 1970] 60725/70 Heading C7F [Also in Division C1] A semi-conductor device is obtained by transferring a material between a vapour and a substrate of semi-conductor material, the process c...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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