SCHOTTKY CONTACTS

Method of producing metal-semiconductor contacts (Schottky contacts) with precisely defined and relatively small surface areas comprising: applying a layer of an insulating material (aluminum oxide or silicon dioxide) onto a semiconductor surface; etching only areas of the insulating material layer...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: KNIEPKAMP H
Format: Patent
Sprache:eng
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