METHOD AND SYSTEM FOR ACOUSTICALLY SCANNING A SAMPLE
An acoustic microscope for scanning a sample, comprising: a pulse transmitter for generating and propagating first acoustic pulses along a propagation direction; a rotatable mirror for deflecting the first acoustic pulses, the rotatable mirror being rotatable about a rotation axis being substantiall...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | An acoustic microscope for scanning a sample, comprising: a pulse transmitter for generating and propagating first acoustic pulses along a propagation direction; a rotatable mirror for deflecting the first acoustic pulses, the rotatable mirror being rotatable about a rotation axis being substantially orthogonal to the propagation direction; an acoustic lens for focusing the deflected first acoustic pulses in the sample and propagating second acoustic pulses reflected by the sample towards the rotatable mirror, the second acoustic pulses being deflected by the rotatable mirror; a pulse detector for detecting the deflected second acoustic pulses; a transmitter controller for controlling the pulse emitter and emitting each one of the first acoustic pulses as a function of a respective angular position of the rotatable mirror; and a mirror controller for rotating the rotatable mirror in order to scan the sample along a scan direction.
La présente invention concerne un microscope acoustique permettant de balayer un échantillon, ledit microscope comprenant : un émetteur d'impulsions destiné à générer et à propager des premières impulsions acoustiques dans une direction de propagation ; un miroir rotatif destiné à dévier les premières impulsions acoustiques, le miroir rotatif pouvant tourner autour d'un axe de rotation qui est sensiblement orthogonal à la direction de propagation ; une lentille acoustique destinée à concentrer les premières impulsions acoustiques déviées dans l'échantillon et à propager des secondes impulsions acoustiques réfléchies par l'échantillon vers le miroir rotatif, les secondes impulsions acoustiques étant déviées par le miroir rotatif ; un détecteur d'impulsion destiné à détecter les secondes impulsions acoustiques déviées ; un dispositif de commande d'émetteur destiné à commander l'émetteur d'impulsions et à transmettre chaque première impulsion acoustique en fonction d'une position angulaire respective du miroir rotatif ; et un dispositif de commande de miroir destiné à faire tourner le miroir rotatif afin de balayer l'échantillon dans une direction de balayage. |
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