FABRICATING A SENSOR DEVICE

According to an example, a first mirror layer may be formed on a substrate. A first set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be positioned above a first group of the sensing elements and a second set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be position...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: OCKENFUSS, GEORG J
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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