FABRICATING A SENSOR DEVICE
According to an example, a first mirror layer may be formed on a substrate. A first set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be positioned above a first group of the sensing elements and a second set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be position...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre |
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Zusammenfassung: | According to an example, a first mirror layer may be formed on a substrate. A first set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be positioned above a first group of the sensing elements and a second set of spacer layers may be deposited on the first mirror layer to be positioned above a second group of the sensing elements, in which the second set of spacer layers differs from the first set. In addition, a second mirror layer may be formed above the deposited first set of spacer layers and the deposited second set of spacer layers.
Selon un exemple, une première couche de miroir peut être formée sur un substrat. Un premier ensemble de couches décartement peut être déposé au-dessus dun premier groupe déléments détecteurs et un deuxième ensemble de couches décartement peut être déposé sur la première couche de miroir afin de se positionner au-dessus dun deuxième groupe déléments détecteurs, dans lequel le deuxième ensemble de couches décartement est différent du premier. De plus, une deuxième couche de miroir peut être formée au-dessus du premier et du deuxième ensemble de couches décartement déposées. |
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