UNCOOLED MICROBOLOMETER DETECTOR AND ARRAY FOR TERAHERTZ DETECTION

An uncooled microbolometer detector is provided that includes a substrate, a platform held above the substrate by a support structure, at least one thermistor provided on the platform, and an optical absorber. The optical absorber includes at least one electrically conductive layer extending on the platform over and in thermal contact with the at least one thermistor and patterned to form a resonant structure defining an absorption spectrum of the uncooled microbolometer detector. The optical absorber is exposed to electromagnetic radiation and absorbs the electromagnetic radiation according to the absorption spectrum. A microbolometer array including a plurality of uncooled microbolometer detectors arranged in a two-dimensional array is also provided. Advantageously, embodiments of the present invention allow extending the absorption spectrum of conventional infrared uncooled microbolometer detectors to the terahertz region of the electromagnetic spectrum. Un détecteur microbolométrique non refroidi est présenté qui comprend un substrat, une plateforme maintenue au-dessus du substrat par une structure de support, au moins un thermistor est présent sur la plateforme, et un dispositif dabsorption optique. Le dispositif dabsorption optique comprend au moins une couche conductrice délectricité se prolongeant sur la plateforme sur le au moins un thermistor et en contact thermique avec ledit au moins un thermistor et faisant un motif pour former une structure résonante définissant un spectre dabsorption du détecteur microbolométrique non refroidi. Le dispositif dabsorption optique est exposé au rayonnement électromagnétique et absorbe le rayonnement électromagnétique conformément au spectre dabsorption. Un réseau microbolométrique comportant une pluralité de détecteurs microbolométriques non refroidis disposés dans un réseau bidimensionnel est également présenté. De manière avantageuse, les modes de réalisation de la présente invention permettent le prolongement du spectre dabsorption des détecteurs microbolométriques non refroidis à infrarouge conventionnels à la région térahertz du spectre électromagnétique.