APPARATUS AND METHOD FOR EVALUATING LAYERS IN A MULTI-LAYER STRUCTURE

An apparatus for evaluating layers, including interlayer gaps, in a multi- layer structure; the multi-layer structure presenting a plurality of edges generally aligned athwart an axis; the apparatus includes: (a) a sensing unit configured for sensing at least one parameter; (b) a positioning unit coupled with the sensing unit; the positioning unit being configured to effect moving the sensing unit generally along the axis; and (c) a control unit coupled with at least one of the positioning unit and the sensing unit. The control unit provides an electrical signal to the sensing unit. The control unit monitors changes in the at least one parameter as the sensing unit moves past the plurality of edges. The control unit employs the changes in the at least one parameter to effect the evaluating. Un appareil dévaluation des couches, y compris les espaces intercouches, dans une structure multicouche, cette dernière présentant une pluralité de bords généralement alignés en travers dun axe. Lappareil comporte : a) une unité de détection conçue pour détecter au moins un paramètre, b) une unité de positionnement couplée à lunité de détection, lunité de positionnent étant conçue pour déplacer lunité de détection généralement le long de laxe, et c) une unité de commande couplée à au moins un de lunité de positionnement et de lunité de détection. Lunité de commande fournit un signal électrique à lunité de détection. Lunité de commande surveille les changements dans le au moins un paramètre à mesure que lunité de détection franchit la pluralité de bords. Lunité de commande utilise les changements dans le au moins un paramètre pour procéder à lévaluation.