INERTIAL SENSOR

A long-period weak-motion inertial sensor comprising: a frame having a frame mounting surface; a movable mass having a movable mass mounting surface; a transducer for sensing displacements of the movable mass with respect to the frame; and a monolithic flexure element for suspending the movable mass in the frame. The monolithic flexure element comprising: a stiff frame integral clamp attachable to the frame mounting surface of the frame; a stiff movable mass integral clamp attachable to the movable mass mounting surface of the movable mass; and a stiffest flexible region for operatively connecting the frame integral clamp to the movable mass integral clamp. The frame and movable mass mounting surfaces do not overlap the stiffest flexible region, thereby minimizing the generation of creep and hysteresis noise. The variation in stiffness of the monolithic flexure element is controlled by varying thickness along the length of the flexure element. Un capteur inertiel de mouvement faible sur une longue période comprend un cadre ayant une surface d'installation de cadre, une masse mobile dotée d'une surface d'installation de masse mobile; un transducteur captant les déplacements de la masse mobile relativement au cadre et un élément de flexion monolithique servant à suspendre la masse mobile dans le cadre. L'élément de flexion monolithique comprend une pince rigide intégrée au cadre pouvant être fixée à la surface d'installation de cadre du cadre; une pince rigide intégrée à la masse mobile pouvant être fixée à la surface d'installation de masse mobile de la masse mobile et une région flexible plus rigide servant à relier de manière fonctionnelle la pince intégrée au cadre à la pince intégrée à la masse mobile. Les surfaces d'installation du cadre et de la masse mobile ne chevauchent pas la région flexible la plus rigide, ce qui minimise la production de fluage et de bruit d'hystérésis. La variation de la rigidité de l'élément de flexion monolithique est contrôlée en variant l'épaisseur le long de la longueur de l'élément de flexion.