métodos para produzir micro-e nano-estruturas isoladas utilizando litografia suave ou de impressão

"MéTODOS PARA PRODUZIR MICRO- E NANO-ESTRUTURAS ISOLADAS UTILIZANDO LITOGRAFIA SUAVE OU DE IMPRESSãO". O assunto em discussão divulgado pela presente invenção descreve o uso de materiais baseados em elastómeros fluoretados, particularmente, materiais baseados em perfluoropoliéter (PFPE), e...

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Hauptverfasser: R. JUDE SAMULSKI, JASON P. ROLLAND, GINGER M. DENISON, BENJAMIN W. MAYNOR, JOSEPH M. DESIMONE, EDWARD T. SAMULSKI, ANSLEY E. EXNER, LARKEN E. EULISS
Format: Patent
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creator R. JUDE SAMULSKI
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GINGER M. DENISON
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ANSLEY E. EXNER
LARKEN E. EULISS
description "MéTODOS PARA PRODUZIR MICRO- E NANO-ESTRUTURAS ISOLADAS UTILIZANDO LITOGRAFIA SUAVE OU DE IMPRESSãO". O assunto em discussão divulgado pela presente invenção descreve o uso de materiais baseados em elastómeros fluoretados, particularmente, materiais baseados em perfluoropoliéter (PFPE), em aplicações litográficas suaves ou de impressão de alta resolução, tal como moldagem de réplica em microescala ou em nanoescala e a primeira moldagem de nanocontato de materiais orgânicos para gerar características de alta fidelidade usando-se um molde elastomérico. Conseqüentemente, o assunto em discussão divulgado no momento descreve um método para produzir namoestruturas isoladas livres de qualquer forma usando-se técnicas litográficas suaves ou de impressão. The presently disclosed subject matter describes the use of fluorinated elastomer-based materials, in particular perfluoropolyether (PFPE)-based materials, in high-resolution soft or imprint lithographic applications, such as micro- and nanoscale replica molding, and the first nano-contact molding of organic materials to generate high fidelity features using an elastomeric mold. Accordingly, the presently disclosed subject matter describes a method for producing free-standing, isolated nanostructures of any shape using soft or imprint lithography techniques.
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The presently disclosed subject matter describes the use of fluorinated elastomer-based materials, in particular perfluoropolyether (PFPE)-based materials, in high-resolution soft or imprint lithographic applications, such as micro- and nanoscale replica molding, and the first nano-contact molding of organic materials to generate high fidelity features using an elastomeric mold. 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