DEVICE FOR SPRAY- PYROLYSE PREPARING OF THIN LAYERS WITH AMORPHOUS AND POLYCRYSTALLINE STRUCTURE

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SHINDOV,PETR KH, ILIEV,JURIJJ V, TODOROV,TODOR V
Format:	Patent
Sprache:	eng
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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