Interferometer
Interferometer for measuring a phase difference between a reference beam (37) and an object beam (36') transformed by an optical element (10), comprising light source means (2), an optical device (3) and detection means (4) in a detection plane (34). The optical device (3) comprises a first lig...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!