Method for removing aluminium from chlorosilanes
The invention relates to a method and a device for separating aluminium from chlorosilanes, in particular for separating aluminium trichloride from silicon tetrachloride or trichlorosilane or from mixtures of silicon tetrachloride or trichlorosilane. According to the invention, aluminium chloride is...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng |
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