VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINER DÜNNSCHICHT AUS EINEM MATERIAL AUF EINEM SUBSTRAT UND REGENERATIONSVERFAHREN FÜR EINE SOLCHE VORRICHTUNG
The present invention concerns an apparatus for depositing a thin film of material on a substrate and a regeneration process. The apparatus comprises a chamber (1), a cryogenic panel (10) disposed inside the chamber, a sample holder (6) able to support a substrate, a gas injector (9) able to inject...
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| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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