SPERRSCHICHT-PHOTOSPANNUNGSVERFAHREN UND - VORRICHTUNG ZUR KONTAKTLOSEN BESTIMMUNG DES FLÄCHENWIDERSTANDS UND DES KRIECHSTROMS EINES HALBLEITERS
A junction-photovoltage method and apparatus for contactless determination of an electrical/physical parameter of a semiconductor structure having at least one p-n junction located at a surface is disclosed. In one aspect, the method includes illuminating the surface with the p-n junction with a lig...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
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