VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ZNO-DÜNNFILMS BEI NIEDRIGEN TEMPERATUREN

The present invention provides a method and apparatus for forming a zinc oxide thin film with high transparency and high conductivity on a surface of a flexible substrate such as plastic without the indispensable requirement of doping impurities. In the method of forming a zinc oxide thin film by re...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	MATSUMOTO, TAKASHI, IMAZU, CHITAKE, KIJIMA, KAZUHIRO, HIRAKI, SATOSHI, HAGIHARA, SHIGERU, FUJIKAWA, YUICHIRO, ABE, OSAMU
Format:	Patent
Sprache:	ger
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