POSITIONIERVORRICHTUNG MIT EINER SCHEIBE MIT EINEM GESCHLOSSENEN GASSYSTEM ZUR ERZEUGUNG EINES FLUIDKISSENS

A positioning device of the type described characterised by the incorporation of the puck into a closed circuit gas system from which the puck establishes the flow of fluid to provide the fluid cushion. Typically the positioning device is characterised by the provision of a heat transfer mechanism i...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: SYKES, NEIL
Format: Patent
Sprache:ger
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