RINGFÖRMIGE AUFNAHME FÜR EINEN ROTIERENDEN TRÄGER

The receptacle includes annular channel (26,26') along radial extension of supporting surface of carrier. A suction device is formed near the annular channel, including suction openings and a pressure distribution chamber (30) which connects suction line (38) to the suction chamber.

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	OBWEGER, RAINER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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