VERFAHREN ZUR ENTFERNUNG VON ALUMINIUM AUS CHLORSILANEN

The invention relates to a method and a device for separating aluminium from chlorosilanes, in particular for separating aluminium trichloride from silicon tetrachloride or trichlorosilane or from mixtures of silicon tetrachloride or trichlorosilane. According to the invention, aluminium chloride is...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WEBER, RAINER, BLOCK, HANS-DIETER, OLF, GUENTER, SCHAEFER, JOHANNES-PETER, LEIMKUEHLER, HANS-JOACHIM
Format: Patent
Sprache:ger
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