VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG MIT FLÜSSIGKEIT
A new apparatus for treating substrates with fluids, as well as a corresponding fluid treatment method, is disclosed. The new apparatus includes a new configuration of fluid jet injectors which substantially overcomes the problem of dragout, in which fluid impinged upon an area of a substrate is ret...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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