VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG MIT FLÜSSIGKEIT

A new apparatus for treating substrates with fluids, as well as a corresponding fluid treatment method, is disclosed. The new apparatus includes a new configuration of fluid jet injectors which substantially overcomes the problem of dragout, in which fluid impinged upon an area of a substrate is ret...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JONES, JEFFREY DONALD, BARD, STEVEN LINDZ, KATYL, ROBERT HENRY, MORENO, OSCAR AUREO, MOORE, RONALD JAMES
Format: Patent
Sprache:ger
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