Strukturiertes, piezoelektrisches Sensorelement
Die Erfindung betrifft ein strukturiertes, piezoelektrisches Sensorelement sowie einen piezoelektrischen Sensor. Um eine Rissbildung möglichst zu vermeiden, weist das Sensorelement ein oder mehrere piezoelektrische, vorzugsweise monokristalline, flächig ausgebildete Messelemente (10) auf, die zwisch...
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Hauptverfasser: | , , |
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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