Amorphous gallium oxide grown by low-temperature PECVD

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Kobayashi, Eiji, Boccard, Mathieu, Jeangros, Quentin, Rodkey, Nathan, Vresilovic, Daniel, Hessler-Wyser, Aïcha, Döbeli, Max, Franta, Daniel, De Wolf, Stefaan, Morales-Masis, Monica, Ballif, Christophe
Format: Web Resource
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:10.1116/1.5018800