Modeling and Formulation of a Novel Microoptoelectromechanical Gyroscope

This paper proposed a novel design of microgyroscope based on MEMS structures and optic interferometric microdisplacement measurement technique. The gyroscope consists of microvibrator and interferometric readout. Using Coriolis force, the vibrator transfers the system rotation into a forced vibrati...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of nanomaterials 2008, Vol.2008 (2008), p.1-9
Hauptverfasser:	Sun, Bohua, Zhang, Bo, Khan, Mohamed Toriq
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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