Gallium nitride micro electro mechanical resonator based on high electron mobility transition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Nantong Daxue xuebao. Ziran kexue ban 2022-06, Vol.21 (2), p.65-72
Hauptverfasser:	GUO Xinglong, ZHU Youhua, GE Mei, LI Yi, DENG Honghai
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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