Wafer 4.0 - Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0-Umgebung; Teilvorhaben: Datenverarbeitung und Analyse : Abschlussbericht Fördervorhaben 0324281D Teilvorhaben: Datenverarbeitung und Analyse : Bewilligungszeitraum: 01.07.2018-30.06.2021

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Dreyer, Thomas, Pertermann, Maik, Wehder, Alexandra
Format: Report
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:10.2314/kxp:1853503894