Density evaluation of remotely-supplied hydrogen radicals produced via tungsten filament method for SiCl 4 reduction

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2018-05, Vol.57 (5), p.51301
Hauptverfasser:	Dahmani, Fatima Zohra, Okamoto, Yuji, Tsutsumi, Daiki, Ishigaki, Takamasa, Koinuma, Hideomi, Hamzaoui, Saad, Flazi, Samir, Sumiya, Masatomo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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