What We Learned and Used in the First Inductively Coupled Plasma for Plasma Processing and in Later Development

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2011-08, Vol.50 (8S1), p.8
1. Verfasser:	Keller, John H.
Format:	Artikel
Sprache:	eng ; jpn
Online-Zugang:	Volltext
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