Quantitative Evaluation of an Epitaxial Silicon-Germanium Layer on Silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microscopy research (Irvine, CA) CA), 2015, Vol.3 (4), p.41-49
Hauptverfasser:	Yao, Jie-Yi, Lin, Kun-Lin, Hsu, Chiung-Chih
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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