Effect of Fluoride-based Plasma Treatment on the Performance of AlGaN/GaN MISFET
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Veröffentlicht in: | ETRI journal 2016-04 |
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Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1225-6463 |
DOI: | 10.4218/etrij.16.0015.0040 |