Effect of Fluoride-based Plasma Treatment on the Performance of AlGaN/GaN MISFET

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:ETRI journal 2016-04
Hauptverfasser: Ahn, Ho-Kyun, Kim, Hae-Cheon, Kang, Dong-MIn, Kim, Sung-Il, Lee, Jong-Min, Lee, Sang-Heung, Min, Byoung-Gue, Yoon, Hyoung-Sup, Kim, Daong-Young, Lim, Jong-Won, Kwon, Yong-Hwan, Nam, Eun-Soo, Lee, Jung-Hee
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1225-6463
DOI:10.4218/etrij.16.0015.0040