Process of Making Three-dimensional Microstructures using Vaporization of a Sacrificial Component

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of visualized experiments 2013-11 (81)
Hauptverfasser:	Nguyen, Du T., Leho, Y. T., Esser-Kahn, Aaron P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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