Sensitivity Calibration of Ionization Gauges for Various Gases Using a Spinning Rotor Gauge (SRG)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	SHINKU 1991/07/20, Vol.34(7), pp.601-604
Hauptverfasser:	IN, Sang Ryul, TAKAHASHI, Sunao, DAIBO, Hidemi, MARUYAMA, Takashi, YOKOUCHI, Shigeru, BE, Suck Hee
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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