Automated control system of a molecular-beam epitaxy setup

An automated control system for epitaxial facilities was developed based on the Advantech Co. software and hardware.

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Bulletin of the Lebedev Physics Institute 2010-05, Vol.37 (5), p.131-135
Hauptverfasser:	Kazakov, I. P., Tsekhosh, V. I., Igonin, M. E., Fofanova, L. A., Shemyakin, S. N.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics Physics and Astronomy
Online-Zugang:	Volltext
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