Shape correction of optical surfaces with subnanometer precision: Problems, status, and prospects

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics 2008-02, Vol.72 (2), p.188-191
Hauptverfasser:	Klyuenkov, E. B., Polkovnikov, V. N., Salashchenko, N. N., Chkhalo, N. I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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