Semiconductor Crystal Growth by Modified Vertical Gradient Freezing with Electromagnetic Stirring
This paper presents a numerical model for the unsteady transport of a dopant during the VGF process by submerged heater growth with a steady axial magnetic field and a steady radial electric current. Electromagnetic (EM) stirring can be induced in the gallium-antimonide melt just above the crystal g...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Journal of thermophysics and heat transfer 2005-01, Vol.19 (1), p.95-100 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!